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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:小型雙爐體滑道管式爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-O1200-50SDM
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本品是一款小型雙爐體滑道管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器zui高溫度可以達(dá)到1200℃。小型雙爐體滑道管式爐兩個(gè)爐體可在滑軌上滑道,實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。為取得zui快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。
詳情介紹:

小型雙爐體滑道管式爐同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建CVD系統(tǒng)。

該設(shè)備可用于石墨烯制備、硫化物制備等。

小型雙爐體滑道管式爐技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

CY-O1200-50SDM

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

50mm

爐管長(zhǎng)度

1400mm

加熱區(qū)長(zhǎng)

300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)

200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高亮數(shù)碼管數(shù)字顯示

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-3Z

氣體通道

3通道

測(cè)量部件

氣體質(zhì)量流量計(jì)

測(cè)量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測(cè)量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣速率

4L/S   

排氣接口

KF16

真空測(cè)量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16


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