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產品詳情
  • 產品名稱:粉末磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSH325-II-DCRF-SS-ZD
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
粉末磁控濺射鍍膜儀是一種用于在基材表面沉積薄膜的設備,利用磁控濺射技術將粉末狀的靶材轉化為薄膜覆蓋在基材上
詳情介紹:

粉末磁控濺射鍍膜儀是一種用于在基材表面沉積薄膜的設備,利用磁控濺射技術將粉末狀的靶材轉化為薄膜覆蓋在基材上。以下是其工作原理和用途的詳細說明。

粉末磁控濺射鍍膜儀的工作原理主要基于磁控濺射技術。具體步驟如下:

靶材準備:

靶材以粉末形式存在,通常由金屬、合金、陶瓷等材料制成。這些粉末靶材裝入靶臺,作為濺射源。

真空環(huán)境:

鍍膜過程在真空室內進行,以減少氣體分子對濺射粒子的干擾,確保沉積過程的穩(wěn)定性和薄膜的質量。

等離子體的產生:

在真空室內引入惰性氣體(如氬氣),并施加高壓電場,產生等離子體。等離子體中的高能離子(如氬離子)在電場作用下加速并轟擊靶材表面。

濺射過程:

高能氬離子轟擊粉末靶材表面,導致靶材原子或分子從表面濺射出來。這些濺射出的粒子在真空中自由移動,并*終沉積到基材表面,形成均勻的薄膜。

磁控增強:

磁控裝置產生的磁場與電場共同作用,使電子在靶材表面附近形成旋轉運動,這大大增加了靶材表面的離子轟擊密度,提高了濺射效率。

薄膜形成:

濺射出的靶材粒子在基材表面沉積,逐漸形成所需的薄膜。通過控制濺射時間、靶材粉末的種類和濃度,可以調控薄膜的厚度和成分。

粉末磁控濺射鍍膜儀廣泛應用于以下領域:

半導體制造:用于沉積各種功能薄膜,如導電層、絕緣層、阻擋層等,是半導體器件制造中關鍵的工藝步驟。

光學器件:在光學元件上鍍膜,形成抗反射層、濾光層或反射層,改善光學性能。

防護涂層:在工具或機械部件上沉積耐磨涂層,增加表面硬度和抗腐蝕性能,延長使用壽命。

裝飾性鍍膜:用于裝飾性涂層的沉積,改變物體表面的顏色、光澤或質感,廣泛應用于珠寶、手表等領域。

能源領域:用于制造太陽能電池中的透明導電氧化物(如ITO)薄膜,以及在儲能設備中沉積功能層。

生物醫(yī)學器件:應用于生物醫(yī)學器件表面的功能化處理,如在植入物上沉積**涂層或生物相容性涂層。

粉末磁控濺射鍍膜儀的優(yōu)勢在于其對多種材料的兼容性以及能夠控制薄膜的均勻性和成分,使其成為工業(yè)和科研領域中不可或缺的工具。

粉末磁控濺射鍍膜儀

磁控濺射鍍膜儀技術參數(shù):

產品名稱

粉末磁控濺射鍍膜儀

產品型號

CY-MSH325-II-DCRF-SS-ZD

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

6KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺

外形尺寸

φ150mm 振動頻率20Hz-20KHz

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

數(shù)量

2

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm

腔體材質

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

配直流電源,功率500W  射頻電源500W

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)

設備尺寸

570mm×1040mm×1700mm

設備重量

350kg

豫公網安備 41019702002438號

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