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不銹鋼腔體八英寸勻膠機(jī)適用范圍：
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
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項目 |
明細(xì) |
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旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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轉(zhuǎn)速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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轉(zhuǎn)速分辨率 |
1rpm |
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單步時間 |
3000s |
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基片尺寸 |
直徑≤8英寸（200mm） |
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腔體材質(zhì) |
不銹鋼 |
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操作方式 |
7寸高清LCD觸控屏 |
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滴膠方式 |
手動滴膠，可選購精密注射泵 |
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勻膠曲線 |
每條曲線5段，共可儲存5條曲線 |
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抽氣接口 |
φ8mm 快擰接口 |
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整機(jī)尺寸 |
290mm×365mm×310mm |
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整機(jī)重量 |
12kg |
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排氣系統(tǒng) |
真空泵 |
干式機(jī)械泵 |
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抽氣速率 |
1.1L/s |
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供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
